Krystallinsk silisiumrør

Teknisk hvitbok: Krystallinsk silisiumrør for ultra-rene prosessmiljøer

The Material Science of Phonon-drevet termisk stabilitet

I termiske reaktorer og optiske beskyttelsessystemer med høy-presisjon kan "Thermal Gradient" over en ledning forårsake mikroskopisk strukturell forvrengning.Krystallinsk silisiumrører konstruert for å utnytte den overordnedeTermisk diffusivitetav silisiumgitteret. I motsetning til amorf kvarts tillater den periodiske krystallinske strukturen effektivPhonon Transport, som sikrer at varmen blir omfordelt nesten øyeblikkelig over rørveggen. Dette resulterer i en «nær-isotermisk» overflate, som er avgjørende for å opprettholde stabiliteten til sensitive gasser og beskytte laserbaner med høy-effekt mot termiske linseeffekter.

Konstruere presisjonsprosessbasen

Ultra-profil med lav kontaminering:Denne slangen er laget av halvleder-kvalitets monokrystallinsk silisium, og er praktisk talt fri for alkalimetaller og hydroksylgrupper som finnes i høy-kvarts. Dette gjør den til det fremste valget forRenroms prosesslinjerhvor selv en del-per-billion (ppt) nivå forurensning kan kompromittere enhetens utbytte.

Eksepsjonell strukturell stivhet og hardhet:Med en Youngs modul som er betydelig høyere enn glass eller polymerer, gir slangen et robust, ikke-bøyelig hus for delikate optiske fibre eller sensorledninger. Dens høye motstand mot mekanisk tretthet sikrer lang-tidDimensjonell integriteti miljøer med høy-vibrasjon som wafer-håndtering av robotikk.

Høy-temperaturvakuumkompatibilitet:Det ultra-lave damptrykket forhindrer "Outgassing", og sikrer en uberørt atmosfære for epitaksial vekst og atomlagavsetningsprosesser (ALD).

Tilpasset geometri for presisjonsteknikk:Vi bruker avanserte-diamantbore- og innvendige poleringsteknikker for å gi tilpassede innvendige diametre (ID) og veggtykkelser. Den indre overflaten kan poleres til enAtomisk-Skala Glatthet, minimerer væsketurbulens og partikkeloppfanging i gassleveringssystemer.

Strategiske applikasjoner

Halvledergasslevering:Gullstandarden for transport av svært reaktive forløpere der nullvegg-reaksjon er nødvendig.

Optisk systembeskyttelse:En stiv, termisk stabil kanal for å beskytte laserbaner og høyoppløselige bildekomponenter i litografiverktøy.

Kjemiske reaktorer med høy-temperatur:Brukes som foring eller strukturrør i oksidasjons- og diffusjonsovner der materialrenheten ikke er-omsettelig.

Spesialisert forskningsinstrumentering:En ideell ikke-magnetisk holder med høy-renhet for prøver i EPR (Electron Paramagnetic Resonance) og andre sensitive spektroskopiske analyser.

Populære tags: krystallinsk silisiumrør, produsenter, leverandører, fabrikk for krystallinske silisiumrør i Kina